性能参数 Performance
| 参数 | 备注 | 符号 | 单位 | ICV50-6 | ICV50-12 |
|---|---|---|---|---|---|
| 绕组类型 Winding Type | — | — | — | S | S |
| 电机类型 Motor Type | 三相同步有铁芯 | — | — | 380Vacrms (560Vdc) | 380Vacrms (560Vdc) |
| 峰值推力 Peak Force | Magnet @25℃ | Fp | N | 232 | 464 |
| 持续推力(被动冷却) Continuous Force, Passive Cooling | Coil @110℃ | Fc | N | 20 | 40 |
| 持续推力(主动冷却) Continuous Force, Active Cooling | Coil @110℃ | Fc | N | 65 | 130 |
| 最大速度 Maximum Speed | @560Vdc | Vmax | m/s | 12 | 12 |
| 电机力常数 Motor Force Constant | Mount. Sfc. @20℃ | K | N/Arms | 39 | 39 |
| 电机常数 Motor Constant | Coils @25℃ | S | N²/M | 188 | 376 |
电气参数 Electrical
| 参数 | 备注 | 符号 | 单位 | ICV50-6 | ICV50-12 |
|---|---|---|---|---|---|
| 峰值电流 Peak Current | Magnet @25℃ | Ip | Arms | 6.9 | 13.8 |
| 最大持续电流(被动冷却) Continuous Current, Passive Cooling | Coil @110℃ | Ic | Arms | 0.5 | 1.0 |
| 最大持续电流(主动冷却) Continuous Current, Active Cooling | Coil @110℃ | Ic | Arms | 1.7 | 3.3 |
| 反电动势常数 Back EMF | 25℃ ±10% | Bemf | V/m/s | 32 | 32 |
| 单相电阻 Resistance Per Phase | Coil @25℃ | Rph | Ω | 2.7 | 1.35 |
| 单相电感 Inductance Per Phase | I<0.63Ip | Lph | mH | 17.6 | 8.8 |
| 电气时间常数 Electrical Time Constant | Coil @25℃ | Te | ms | 6.5 | 6.5 |
| 最大持续功耗 Power Loss | All Coils | Pc | W | 29.3 | 58.5 |
热性能参数 Thermal
| 参数 | 条件/备注 | 符号 | 单位 | ICV50-6 | ICV50-12 |
|---|---|---|---|---|---|
| 热阻 Thermal Resistance | Coils to Mounting Surface | Rth | ℃/W | 2.9 | 1.5 |
| 温度传感器 Temp. Sensor | — | — | — | PTC 1kΩ / NTC 10kΩ | PTC 1kΩ / NTC 10kΩ |
SCV系列有铁芯真空直线电机:
| 产品系列 | 结构形式 | 主要特点 | 适用方向 |
|---|---|---|---|
| SCV50 | 有铁芯 | 紧凑、高推力密度 | 小型真空运动平台 |
| SCV76 | 有铁芯 | 更高推力输出 | 中型真空设备 |
| SCV124 | 有铁芯 | 大推力规格 | 高负载真空平台 |
SCV系列行业应用:
- 半导体制造:应用于晶圆制造、晶圆搬运、检测及真空运动平台等设备,实现高精度直线定位。
- 平板显示设备:适用于面板生产、检测以及精密直线运动机构。
- 光学设备:用于光学检测、精密定位及高稳定性运动平台。
- 真空科研设备:满足真空实验装置、科研仪器等设备的精密运动需求。
- 精密制造设备:适用于需要高响应、高重复定位精度和稳定直线运动的自动化设备。

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