性能参数 Performance
| 参数 | SLV109X-6 | SLV109X-9 | SLV109X-18 |
|---|---|---|---|
| 绕组类型 | N | N | N |
| 电机类型 | 三相同步无铁芯 | 三相同步无铁芯 | 三相同步无铁芯 |
| 供电 | 220 Vacrms(320 Vdc) | 220 Vacrms(320 Vdc) | 220 Vacrms(320 Vdc) |
| 峰值推力 Fp | 1350 N | 2100 N | 4200 N |
| 持续推力(被动冷却)Fc | 65 N | 95 N | 185 N |
| 持续推力(主动冷却)Fc | 240 N | 350 N | 702 N |
| 最大速度 Vmax | 2.7 m/s | 2.7 m/s | 2.7 m/s |
| 电机力常数 K | 117.5 N/Arms | 117.5 N/Arms | 117.5 N/Arms |
| 电机常数 S | 560 N²/M | 850 N²/M | 1691 N²/M |
电气参数 Electrical
| 参数 | SLV109X-6 | SLV109X-9 | SLV109X-18 |
|---|---|---|---|
| 峰值电流 Ip | 11.4 Arms | 17.1 Arms | 34.2 Arms |
| 最大持续电流(被动冷却)Ic | 0.55 Arms | 0.8 Arms | 1.56 Arms |
| 最大持续电流(主动冷却)Ic | 1.98 Arms | 2.97 Arms | 5.94 Arms |
| 反电动势常数 Bemf | 96 V/M/S | 96 V/M/S | 96 V/M/S |
| 单相电阻 Rph | 8.2 Ω | 5.5 Ω | 2.7 Ω |
| 单相电感 Lph | 14.2 mH | 9.5 mH | 4.7 mH |
| 电气时间常数 Te | 1.7 ms | 1.7 ms | 1.7 ms |
| 最大持续功耗 Pc | 118 W | 176 W | 353 W |
热性能和机械参数 Thermal
| 参数 | SLV109X-6 | SLV109X-9 | SLV109X-18 |
|---|---|---|---|
| 线圈最高温度 Tmax | 80℃ | 80℃ | 80℃ |
| 热阻 Rth | 0.51 ℃/W | 0.34 ℃/W | 0.17 ℃/W |
| 温度传感器 | PTC 1kΩ / NTC | PTC 1kΩ / NTC | PTC 1kΩ / NTC |
| 动子重量 | 1.5 kg | 1.75 kg | 3.5 kg |
| 动子长度 | 242 mm | 356 mm | 698 mm |
| 电机吸引力 Fa | 0 N | 0 N | 0 N |
| 磁节距 | 57 mm | 57 mm | 57 mm |
| 动力电缆类型 | 4×AWG18(0.824mm²), PTFE/ETFE | 同左 | 同左 |
| 传感器电缆类型 | 4×AWG25(0.162mm²), PTFE/ETFE | 同左 | 同左 |
SLV系列无铁芯真空直线电机:
| 产品系列 | 结构形式 | 主要特点 | 适用方向 |
|---|---|---|---|
| SCV50 | 有铁芯 | 紧凑、高推力密度 | 小型真空运动平台 |
| SCV76 | 有铁芯 | 更高推力输出 | 中型真空设备 |
| SCV124 | 有铁芯 | 大推力规格 | 高负载真空平台 |
| SLV59 | 无铁芯 | 小型、运行平稳 | 精密定位 |
| SLV91 | 无铁芯 | 低推力波动 | 半导体/检测设备 |
| SLV109X | 无铁芯 | 多规格推力选择 | 精密运动平台 |
| SLV150 | 无铁芯 | 更大规格 | 大型精密设备 |
SLV系列行业应用:
- SLV109X系列适合真空环境下需要大推力、无吸引力和精密直驱的运动控制场景,可用于半导体制造设备、晶圆加工与检测平台、平板显示设备、真空科研设备以及精密制造运动平台等。
- 三种规格具有相同的2.7m/s最高速度和117.5N/Arms电机力常数,可主要根据设备所需的峰值推力、持续推力、安装空间和负载大小选择SLV109X-6、SLV109X-9或SLV109X-18。

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