性能参数 Performance
| 参数 | SLV59-3 S | SLV59-6 S | SLV59-12 N | SLV59-12 S |
|---|---|---|---|---|
| 电机类型 | 三相同步无铁芯 | 三相同步无铁芯 | 三相同步无铁芯 | 三相同步无铁芯 |
| 供电 | 220 Vacrms(320 Vdc) | 220 Vacrms(320 Vdc) | 220 Vacrms(320 Vdc) | 220 Vacrms(320 Vdc) |
| 峰值推力 Fp | 102 N | 204 N | 408 N | 409 N |
| 持续推力(被动冷却)Fc | 6 N | 11 N | 20.4 N | 20.4 N |
| 持续推力(主动冷却)Fc | 22.4 N | 44.8 N | 87.7 N | 88.7 N |
| 最大速度 Vmax | 18.3 m/s | 18.3 m/s | 6.8 m/s | 18.3 m/s |
| 电机力常数 K | 20 N/Arms | 20 N/Arms | 47.8 N/Arms | 20 N/Arms |
| 电机常数 S | 23 N²/M | 46 N²/M | 89 N²/M | 93 N²/M |
电气参数 Electrical
| 参数 | SLV59-3 S | SLV59-6 S | SLV59-12 N | SLV59-12 S |
|---|---|---|---|---|
| 峰值电流 Ip | 5 Arms | 10 Arms | 8.4 Arms | 20 Arms |
| 最大持续电流(被动冷却)Ic | 0.3 Arms | 0.55 Arms | 0.42 Arms | 1 Arms |
| 最大持续电流(主动冷却)Ic | 1.1 Arms | 2.2 Arms | 1.8 Arms | 4.35 Arms |
| 反电动势常数 Bemf | 16 V/M/S | 16 V/M/S | 39 V/M/S | 16 V/M/S |
| 单相电阻 Rph | 5.8 Ω | 2.9 Ω | 8.5 Ω | 1.4 Ω |
| 单相电感 Lph | 1.9 mH | 1 mH | 2.8 mH | 0.5 mH |
| 电气时间常数 Te | 0.3 ms | 0.3 ms | 0.3 ms | 0.3 ms |
| 最大持续功耗 Pc | 25 W | 50 W | 100 W | 100 W |
热性能和机械参数 Thermal
| 参数 | SLV59-3 S | SLV59-6 S | SLV59-12 N | SLV59-12 S |
|---|---|---|---|---|
| 线圈最高温度 Tmax | 80℃ | 80℃ | 80℃ | 80℃ |
| 热阻 Rth | 2.4 ℃/W | 1.2 ℃/W | 0.6 ℃/W | 0.6 ℃/W |
| 动子重量 | 0.15 kg | 0.26 kg | 0.5 kg | 0.5 kg |
| 动子长度 | 79 mm | 139 mm | 259 mm | 259 mm |
| 电机吸引力 Fa | 0 N | 0 N | 0 N | 0 N |
| 磁节距 | 30 mm | 30 mm | 30 mm | 30 mm |
| 动力电缆类型 | 4×Lead wire(AWG20 0.518mm²), PTFE/ETFE | 同左 | 同左 | 同左 |
| 传感器电缆类型 | 4×Lead wire(AWG25 0.162mm²), PTFE/ETFE | 同左 | 同左 | 同左 |
SLV系列无铁芯真空直线电机:
| 产品系列 | 结构形式 | 主要特点 | 适用方向 |
|---|---|---|---|
| SCV50 | 有铁芯 | 紧凑、高推力密度 | 小型真空运动平台 |
| SCV76 | 有铁芯 | 更高推力输出 | 中型真空设备 |
| SCV124 | 有铁芯 | 大推力规格 | 高负载真空平台 |
| SLV59 | 无铁芯 | 小型、运行平稳 | 精密定位 |
| SLV91 | 无铁芯 | 低推力波动 | 半导体/检测设备 |
| SLV109X | 无铁芯 | 多规格推力选择 | 精密运动平台 |
| SLV150 | 无铁芯 | 更大规格 | 大型精密设备 |
SLV系列行业应用:
- 半导体制造:应用于晶圆制造、晶圆搬运、检测及真空运动平台等设备,实现高精度直线定位。
- 平板显示设备:适用于面板生产、检测以及精密直线运动机构。
- 光学设备:用于光学检测、精密定位及高稳定性运动平台。
- 真空科研设备:满足真空实验装置、科研仪器等设备的精密运动需求。
- 精密制造设备:适用于需要高响应、高重复定位精度和稳定直线运动的自动化设备。

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